中华人民共和国国家标准GB/T 11446.1-1997电子级超纯水（Electronic grade water ）代替GB 11446.1–89
1.范围
本标准规定了电子级超纯水的级别、要求、试验方法和检验规则.
本标准适用于电子元器件生产和清洗用水．
2.引用标准
下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用丽构成为本标准的条文．本标准出版时，所示版本均为有效．所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性．
GB/T 11446.3—1997 电子级水测试方法通则
GB/T 11446.4—l997 电子级水电阻率的测试方法
GB/T 11446.5—1997 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法
GB/T 11446.6—1997 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
GB/T 11446.7—1997 电子级水中痕量氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的离子色谱测试方法
GB/T 11446.8—1997 电子级水中总有机碳的测试方法
GB/T 11446.9—1997 电子级水中微粒的仪器测试方法
GB/T 11446.10—1997 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方
3.定义
本标准采用下列定义：
3.1电子级水electronic grade water
制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水．
3.2电阻率resistivity
在规定温度下1 cm²水溶液两相对面之间测得的电阻值．通常用符号P表示，单位为Ω﹒cm，纯水的理论电阻率为18.3 MΩ﹒cm (25℃)．
3.3全硅total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量．
3.4可溶性硅soluble silicon
以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐．
3.5微粒性物质granular matter
除气体以外，以非液态分散在水中，并形成非均相混合物的物质．
3.6总有机碳(TOC) total organic carbon
水中以各种有机物形式存在的碳的总量．包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。
3.7吸附absorption
某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的能力。
3.8凝聚coagulation
在源水中加入某种电解质后，水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和，从而使其聚集成较大颗粒而沉降的现象。
3.9絮凝flocculation
水中的微粒在一定条件下相互碰撞而集结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是在凝聚作用后缓慢进行，可除去水中更细的微粒。
3.10砂滤器sand filter
用于盛放不同直径的砂粒，以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置。
3.11 活性碳过滤器activated carbon filter
装有粒状活性碳的过滤器，用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。
3.12离子交换ion exchange
一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程，该过程中物质并无实质性结构变化．
3.13去离子水deionized water
经过离子交换处理，除去了呈离子形式的杂质的高纯水。
3. 14再生regeneration
离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中，用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。
3.15复合床complex bed
将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中，将两柱串联，使水依次通过两个柱而被纯化，复合床处理水的纯度虽不及混合床，但操作较简单。
3.16混合床mixed bed
将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀，填充于同一离子交换柱中，其纯化效果相当于许多组合床串联使用，出水质量好但再生比较麻烦．
3.17电渗析electrodialysia
一种分离水中离子的方法。在电渗析器中，阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分隔成一系列小室，水流通过小室时，在直流电场作用下，水中阳离子向阴极方向移动，但不能通过阳膜；阴离子则相反．这样就形成相间存在的浓、淡水室而达到提纯水的目的。
3.18反渗透reverse osmosis
亦称逆向渗透。一种利用渗透原理进行分离的方法。用半透膜将浓水和淡水隔开，并在浓水上施加比渗透压更强的机械压力，则浓水中大部分水透过半透膜而杂质仍留在其中，达到分离提纯的目的．
3.19反渗透膜reverse osmosis membrane
用于反渗透法制备纯水的一种合成薄膜，其孔径一般为0. 02 µm或更小，可用于除去无机离子、有机物、细菌等，使水纯化。
3. 20微孔膜滤器membrane filter
一种平均孔径（直径）大于0. Olµm的薄膜，能把大于平均孔径的微粒截留在其表面或附近。
3.21超过滤uhrafihration
一种过滤方法，在一定压力下使水流通过超滤膜以除去水中的极细微粒、胶体和细菌等．
3.22终端terminal
高纯水生产流程中经过各道净化工艺后，水的出口或使用地点。
4 分类
4.1电子级水分为四个级别；I级、Ⅱ级、Ⅲ级和Ⅳ级。
4.2标记
I级电子级水标记为：EW-I；
II级电子级水标记为；EW-Ⅱ；
III级电子级水标记为；EW-Ⅲ；
Ⅳ级电子级水标记为.EW-Ⅳ。
5 要求
电子级水的技术指标应符合表1的规定。
表1 电子级水的技术指标
级别指标 | EW-I | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ |
电阻率MΩ﹒cm(25℃) | 18以上(95N时间)不低于17 | 15(95N时间)不低于13 | 12.0 | 0.5 |
全硅，最大值，µg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 |
>1µm微粒数，最大值，个/mL | 0.01 | 5 | 10 | 500 |
细菌个数，最大值，个/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
铜最大值，µg /L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
锌，最大值，ug/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 |
镍，最大值．µg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
钠．最大值，µg /L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
钾，最大值．ug/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
氯，最大值．ug/L | l | l | 10 | 1000 |
硝酸根，最大值，ug/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
磷酸根，最大值．ug/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
硫酸根，最大值 ug/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
总有机碳，最大值，ug/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
6试验方法
6.1电阻率
电子级水的电阻率按GB/T 11446.4–1997的测试方法进行测定．
6.2全硅含量（以二氧化硅计）
电子级水全硅（以二氧化硅计）含量按GB/T 11446.6–1997的测试方法进行测定。
6.3微粒数
电子级水中微粒数按GB/T 11446.9–1997的测试方法进行测定．
6.4细菌总数
电子级水中细菌总数按GB/T 11446.10–1997的测试方法进行测定。
6.5痕量金属含量
电子级水中痕量金属的含量按GB/T 11446. 5–1997的测试方法进行测定。
6.6氯离子，硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的含量
电子级水中氯离子、硫酸根离子、硝酸根离子、磷酸根离子等阴离子的含量按GB/T 11446.7–
1997的测试方法进行测定．
6.7总有机碳含量
电子级水中总机碳含量按GB/T 11446.8–1997的测试方法进行测定。
7 检验规则
7.1检验部门
电子级水的检验均应在制造厂的水质检验部门进行．
7.2检验分类
电子级水的检验分为交收检验和例行检验．
7.3交收检验（抽验项目）
7.3.1电子级水技术指标中电阻率、钠离子、全硅（以二氧化硅计）为交收检验项目。
7.3.2在用水终端采样试验后检验结果如有一项不合格时，应再次采样进行检验，如仍有一项指标不
合格，应提出改进措施直到水质合格。
7.4例行检验（全检项目）
例行检验每年进行一次，当制水条件发生变更时也应进行例行检验。
7.4.1检验项目为表1规定的全部技术指标要求．
7.4.2在用水终端采样后进行例行检验，检验结果如有一项以上不合格时，应再次采样进行检验，如仍有一项以上指标不合格，应提出改进措施直到水质合格．
8采样、贮存、运输及标志
8.1 电子级水的采样、贮存运输按GB/T 11446. 3–1997的规定．
8.2标志;在用水终端采样进行检验时，水质合格后应附有检验合格证，合格证应注明；
a) 名称及级别;
b) 各项技术指标;
c) 制水单位;
d) 供水日期；
e) 检验员签章及检验日期．